氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)項(xiàng)目公告

1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)招標(biāo)人為中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)采購進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20260341A008

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)

2.3 數(shù)量：壹套

2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：

設(shè)備用途：該設(shè)備利用高頻電磁場通過感應(yīng)耦合方式產(chǎn)生高密度等離子體，實(shí)現(xiàn)高精度、高選擇性和高深寬比的介質(zhì)薄膜刻蝕（例如氧化硅、氮化硅、硅等）。

系統(tǒng)組成：氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)主要由工藝腔室、等離子體系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)及控制系統(tǒng)等組成。

2.5 交貨地點(diǎn)：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。

2.6 交貨期：合同簽訂后5個(gè)月內(nèi)到貨。

3.投標(biāo)人資格要求：

3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌同一型號(hào)的設(shè)備，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)。提供制造商的唯一授權(quán)書原件。(本設(shè)備指″氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)”)

3.4 財(cái)務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會(huì)計(jì)師事務(wù)所或?qū)徲?jì)機(jī)構(gòu)審計(jì)的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)表，包括審計(jì)報(bào)告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時(shí)間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財(cái)務(wù)報(bào)表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計(jì)的或單位內(nèi)審的2024年財(cái)務(wù)報(bào)表。

3.5 業(yè)績要求：投標(biāo)人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷售量≥3套，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效合同首頁，技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收報(bào)告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）。

3.6 信譽(yù)要求：投標(biāo)人在經(jīng)營活動(dòng)中，無嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽(yù)。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺(tái)的查詢結(jié)果）或信譽(yù)承諾書。

3.7 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。

4. 招標(biāo)文件的獲取

4.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2026年1月19日至2026年1月26日17時(shí)(北京時(shí)間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺(tái)（http://www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺(tái)服務(wù)熱線400-890-0880。

4.2 招標(biāo)文件售賣

每套招標(biāo)文件售價(jià)人民幣 800 元整，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā)送至申請時(shí)所填郵箱。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

4.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺(tái)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺(tái)相關(guān)說明）。

5. 投標(biāo)文件的遞交

5.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2026年2月9日9時(shí)00分（北京時(shí)間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時(shí)間前通過中航工業(yè)電子采購平臺(tái)（http://www.eavic.com）上傳加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時(shí)間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號(hào)西安亞丁灣羽安酒店會(huì)議室。

5.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，電子招標(biāo)投標(biāo)交易平臺(tái)將予以拒收。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標(biāo)公告同時(shí)在中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺(tái)和中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)和中航工業(yè)電子采購平臺(tái)上發(fā)布。

7.監(jiān)督部門：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所紀(jì)檢部/審計(jì)法律部

8.聯(lián)系方式（含異議受理）

招標(biāo)人：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所

地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號(hào)

郵編：710065

聯(lián)系人：任經(jīng)理

電話：029-61886363

電子郵件：[email protected]

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司

地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓六層

郵編： 100039

聯(lián)系人：郗女士

電話：029-89249895

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋

電話：029-89248691、029-89248368

傳真：010-88529153

電子郵件：zhao[email protected]

2026年1月19日