等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備項(xiàng)目公告

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司（招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開招標(biāo)采購(gòu)。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-26400341A009

1.3 項(xiàng)目概況

設(shè)備通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體方式（ICP）產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。

設(shè)備主要指標(biāo)：

（1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無(wú)需反應(yīng)腔室的開腔破真空；

（2）反應(yīng)腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；

（3）溫度控制：采用背氦傳熱的動(dòng)態(tài)溫度控制系統(tǒng)，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。

更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個(gè)月內(nèi)到達(dá)用戶現(xiàn)場(chǎng)。

1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。

2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3投標(biāo)人所投標(biāo)設(shè)備2023年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷售量≥3套，提供設(shè)備銷售業(yè)績(jī)證明（提供有效合同首頁(yè)，技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收報(bào)告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）

2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2026年1月19日至2026年1月27日17時(shí)(北京時(shí)間)，登錄中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)（http://www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場(chǎng)不予受理。如有疑問(wèn)，請(qǐng)致電中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)服務(wù)熱線400-890-0880。

3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過(guò)本鏈接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請(qǐng)自行提交電子發(fā)票申請(qǐng)(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā)送至申請(qǐng)時(shí)所填郵箱。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)相關(guān)說(shuō)明）。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2026年2月9日9時(shí)00分（北京時(shí)間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時(shí)間前通過(guò)中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)（http://www.eavic.com）上傳加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時(shí)間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號(hào)西安亞丁灣羽安酒店會(huì)議室。

4.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)將予以拒收。

4.3投標(biāo)人未按要求上傳加密電子版投標(biāo)文件，或平臺(tái)軟件無(wú)法獲取、解密投標(biāo)人上傳的電子版投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。

5. 開標(biāo)

開標(biāo)時(shí)間同投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間，開標(biāo)地點(diǎn)同投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標(biāo)公告同時(shí)在航空工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)、中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)和中國(guó)招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)上發(fā)布。

7.監(jiān)督部門：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所紀(jì)檢部/審計(jì)法律部

8.聯(lián)系方式（含異議受理）

招標(biāo)人名稱：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所

地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號(hào)

聯(lián)系人：任經(jīng)理

電話：029-61886363

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司

地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓

售賣聯(lián)系人：郗女士

電話： 029-89249895

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋

電話：029-89248691、029-89248368

傳真：010-88529153

電子郵件：[email protected]

2026年1月19日