招標(biāo)公告
深硅刻蝕機項目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受淮海工業(yè)集團 （招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。 1. 招標(biāo)范圍 1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機 1.2 招標(biāo)編號：0779-24400724A005 1.3設(shè)備技術(shù)要求： 1)設(shè)備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等; 2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕； 3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓; 4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂; 5)硅-玻璃鍵合片(硅結(jié)構(gòu)有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現(xiàn)象; 6)工控系統(tǒng)基于 Windows7 及以下版本的操作系統(tǒng)； 7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。 1.4 數(shù)量：1臺 1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內(nèi) 1.6 項目現(xiàn)場：山西省長治市潞州區(qū)淮海工業(yè)集團 。 2. 對投標(biāo)人的資格要求 2.1 投標(biāo)人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。 2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商應(yīng)獲得制造商的有效授權(quán)，須提供正本（制造商的有效授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關(guān)境內(nèi)的獨資公司開具的；或經(jīng)制造商授權(quán)并允許其再授權(quán)的單位開具的）。 2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu) 3. 招標(biāo) 4.未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.aaok.cn）上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
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備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后，查看項目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
編輯：365trade
