青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn) 室設(shè)備采購項(xiàng)目集中招標(biāo) 招標(biāo)公告

序號

標(biāo)段名稱

招標(biāo)范圍

工期要求

交貨地點(diǎn)

信息服務(wù)費(fèi)

（元）

1

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目磁控濺射設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-1 1-26-029-01

招標(biāo)范圍

（1）主要設(shè)備：采購真空蒸鍍設(shè)備 1 套，主要包括基片裝置、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)等，同時(shí)包含設(shè)備所必須的安裝附件及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（2）備品備件：掩膜版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35 銅墊圈、匹配設(shè)備規(guī)格的密封圈等；

（3）專用工器具：拆卸、安裝、檢修設(shè)備時(shí)專用的工器具 1 套（包含外六方扳手、內(nèi)六方扳手、螺絲刀、扳手等工具）。

構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

2.3 主要配置及技術(shù)參數(shù)

2.3.1 真空蒸鍍設(shè)備主要配置

合同簽訂生效后 120 日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具） （詳見第二卷第五章供貨要求）

本項(xiàng) 目位于 陜西省西安長安航天基地東長安街589 號

300

序號

性能指標(biāo)名稱

技術(shù)要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結(jié)構(gòu)

真空室采用 304 不銹鋼，腔體內(nèi)壁電解拋光處理，減少表  放  ；須保留前后門，便于對腔體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)

1.1.2

觀察窗

由保護(hù)玻璃、硬質(zhì)玻璃組合而成， 需符合 X射線防護(hù)國家標(biāo)準(zhǔn)

1.1.3

腔體漏率

漏率優(yōu)于 5.0×10-10 Pa.m3/S，保壓 12 小時(shí)后，壓強(qiáng)≤5Pa  。

1.2

蒸鍍真空系統(tǒng)

1.2.1

極限真空度

系統(tǒng)潔凈、空置時(shí)優(yōu)于 5 × 10-5 pa

1.2.2

分子泵

抽氣速率不小于 3000 L/s

1.2.3

機(jī)械泵

抽氣速率不小于 25 m3/h

1.2.4

真空測量時(shí)間

大氣環(huán)境萬級潔凈間氛圍下從常壓抽至≤5 ×10-4 pa 時(shí)間≤30 min；

1.2.4

極限真空測量

測量范圍從 1×105Pa 到 5.0×10-5 Pa

1.2.4

真空密封

采用金屬密封和氟橡膠圈密封

1.3

蒸發(fā)室基片裝置

1.3.1

基片材料

導(dǎo)電玻璃

1.3.2

樣品尺寸

400 mm ×400 mm 的樣品且可向下兼容更多尺寸

1.3.3

基片托盤

通過電機(jī)旋轉(zhuǎn) 0~30 rpm 可調(diào)

1.4

蒸發(fā)源和蒸發(fā)電源

1.4.1

蒸發(fā)源

配備 2 組金屬蒸發(fā)源和 4 組有機(jī)蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬、有機(jī)及無機(jī)材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板

1.4.2

金屬蒸發(fā)電源

配備可編程的直流穩(wěn)壓金屬蒸發(fā)電源 1 套，金屬蒸發(fā)電源功率≥1.5 KW 及以上，最高升溫溫度可達(dá) 1500  ℃,且通過電流控制方式，精確到 0.1 A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率 0.01 Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制

1.4.3

有機(jī)蒸發(fā)電源

配備有機(jī)蒸發(fā)電源 1 套；可通過電流或 PID智能溫控方式進(jìn)行控制（采用電流控制方式時(shí)需精確到 0.1A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率 0.01Å/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用 PID 智能溫控方式時(shí)控溫精度±1℃);

1.4.4

控制系統(tǒng)

采用 PLC+PC 控制方式

1.4.5

安全保護(hù)措施

缺水欠壓檢測與保護(hù)、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設(shè)計(jì)及保護(hù)。

1.5

膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

1.5.1

膜厚儀

不少于 1 組膜厚儀，不少于 2 套膜厚檢測探頭

1.5.2

蒸發(fā)速率

測量精度

0.1~0.5A/s (≤±10%)，0.6~10.0A/s (≤±5%)

1.5.3

膜厚儀測量精度

膜厚儀測量精度優(yōu)于±0.01Å/s，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜且擋板關(guān)閉

1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT ~ 700℃)

1.5.5

厚度測量精度

優(yōu)于±1Å；具備與電源聯(lián)鎖功能

1.5.6

片內(nèi)膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸 400 mm×400 mm，且在20 nm ~ 100 nm 范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、 C60 、BCP 、LiF2、 MgF2 等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi) 3×3排列 9 點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-  膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）

*100%

1.5.7

片間膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸 400 mm×400 mm，且在20 nm ~ 100 nm 范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、 C60 、BCP 、LiF2、 MgF2 等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi) 3×3排列 9 點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-  膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）

*100%。

1.6

自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)

開啟后根據(jù)用戶設(shè)置的升降溫和蒸發(fā)速率參數(shù)，自動(dòng)升溫加熱蒸發(fā)材料，按照制定速率蒸鍍，到達(dá)設(shè)定厚度后自動(dòng)關(guān)閉擋板，并降溫

1.7

水冷系統(tǒng)

1.7.1

冷水機(jī)

控溫范圍：5℃ ~ 30℃

1.8

工藝支持

投標(biāo)人提供 C60 和 BCP 作為鈣鈦礦器件電子傳輸層的蒸鍍工藝，保證招標(biāo)方在其他薄膜層制備條件不變時(shí)采用該工藝制備電子傳輸層的鈣鈦礦太陽能電池性能不低于招標(biāo)方使用旋涂法制備 PCBM 和 BCP 作為電子傳輸層的性能。

注：其他未列入本表的參數(shù)應(yīng)能滿足設(shè)備整體工藝安全運(yùn)行性能，并符合設(shè)備配置參數(shù)及國家標(biāo)準(zhǔn)

2

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目激光設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-1 1-26-029-02

招標(biāo)范圍

（1）采購 1 臺(tái)雙路激光劃線清邊設(shè)備，包括雙路激光劃線清邊設(shè)備、配套的除塵器、水冷機(jī)、金相顯微鏡模塊以及設(shè)備所必須的安裝附件及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料(包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊)，負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（2）專用工器具：激光功率測試儀、絕緣測試儀、萬用表。

（3）易耗件：水冷機(jī)濾芯、除塵濾芯

（4）構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

2.3 主要配置及技術(shù)參數(shù)：

2.3.1 雙路激光劃線清邊設(shè)備主要配置

交貨期：合同簽訂 生 效 后 90  日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具） （詳見第二卷第五章供貨要求

本項(xiàng) 目位于 陜西省西安長安航天基地東長安街589 號

300

序號

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

備注

1

總體要求

/

1.1

加工幅面

50 mm *50 mm～400 mm*400 mm，可根

據(jù)片源大小進(jìn)行調(diào)節(jié)

1.2

可加工基材厚度

0 ～40mm，軟件中輸入基材厚度后，設(shè)

備自動(dòng)對焦

1.3

主體結(jié)構(gòu)

焊接鋼結(jié)構(gòu)+大理石基座，整機(jī)設(shè)備外光

路采用全密封設(shè)計(jì)并配置觀察窗口，避免

直射人眼

2

納秒紅外

激光系統(tǒng)

/

2.1

激光類型

1064 nm 納秒紅外；

2.2

激光器功率

100W，軟件內(nèi)可設(shè)置

2.3

激光器功

率波動(dòng)穩(wěn)定性

<5% RMS

2.4

激光器可

調(diào)頻率范圍

不低于（1～1000）kHz

2.5

激光器脈寬范圍

不小于 20 ns～200 ns，軟件內(nèi)可設(shè)置

2.6

光束質(zhì)量

M2

≤1.5

2.7

最小劃線寬度

20um～30um

2.8

最小劃線間距

20um～30um

2.9

熱影響區(qū)

單側(cè)≤5um

2.10

清邊寬度

≥10mm

2.11

清邊時(shí)間

<11min（邊長 400mm，寬度 10mm）

2.12

絕緣電阻

劃線后>2MΩ、清邊后>100M Ω

2.13

光斑整形

配置適用于本設(shè)備紅外激光系統(tǒng)易拆卸光學(xué)附件，具備將圓形光斑整形為方形光斑及將高斯光斑整形成平頂光斑的功能

3

皮秒紫外

激光系統(tǒng)

/

3.1

激光類型

355 nm 皮秒紫外

3.2

激光器功率

≥15W，軟件內(nèi)可設(shè)置

3.3

激光器功

率波動(dòng)穩(wěn)定性

<3% RMS

3.4

激光器可

調(diào)頻率范圍

不低于（1～1000）kHz

3.5

激光器脈寬

<15ps

3.6

光束質(zhì)量

M2

<1.3

3.7

最小劃線寬度

20um  ～ 30um

3.8

最小劃線間距

20um  ～ 30um

3.9

熱影響區(qū)

單側(cè)≤10um

3.10

光斑整形

配置適用于本設(shè)備紫外激光系統(tǒng)易拆卸光學(xué)附件，具備將圓形光斑整形為方形光斑及將高斯光斑整形成平頂光斑的功能

4

加工平臺(tái)

/

4.1

電機(jī)配置

X 軸及 Y 軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，兩路激光器分別具有單獨(dú)的 Z 軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

4.2

平臺(tái)尺寸

可加工最大 400 mm ×400 mm 尺寸基材，

固定方式為真空吸附，臺(tái)面采用非鋁合金

耐高溫材質(zhì)

4.3

XY 軸定位精度

≤±3μm

4.4

XY 軸重復(fù)定位精度

≤±3μm

4.5

XY 軸最大移動(dòng)速度

≥1000mm/s

4.6

Z 軸精度

≤±5μm

4.7

劃線平行度

≤±10μm/m

4.8

軌跡編輯

劃刻路徑可軟件內(nèi)編輯、可用 CAD 文件導(dǎo)

入、可設(shè)置某段路徑激光的開關(guān)， 能存儲(chǔ)

20 個(gè)以上工藝方案

5

影像定位系統(tǒng)

/

5.1

CCD 像素

≥500 萬

5.2

CCD 定位精度

≤±2 µm

6

抽塵機(jī)

/

6.1

總要求

激光加工過程中同步吸塵

6.2

除塵效果

配有多級過濾系統(tǒng)，除塵效率≥99.9%

（0.1～1 μm  灰塵顆粒）

6.3

尾氣

可直接接入廠務(wù)熱排風(fēng)系統(tǒng)

7

金相顯微鏡模塊

/

7.1

放大倍數(shù)

5 孔物鏡轉(zhuǎn)盤，物鏡倍數(shù)為 5X 、10X、

20X 、50X 、100X，雙目鏡倍數(shù) 10X，瞳距

可調(diào)

7.2

載物臺(tái)

尺寸不小于 150 mm ×120 mm，移動(dòng)范圍

不小于 70mm×50 mm，額外配備支架以

保證大尺寸工件平穩(wěn)放置

3

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目狹縫涂布及附屬設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-1 1-26-029-03

招標(biāo)范圍

（1）主要設(shè)備：狹縫涂布設(shè)備 1 臺(tái)

附屬設(shè)備：真空制晶設(shè)備 1 臺(tái)、退火設(shè)備 1 臺(tái)。

備品備件：氣管、液管、管路接頭、玻璃供液罐、墊片。

專用工具：扭力扳手、公制內(nèi)六角扳手、大理石平尺、硅片取放料工具、油石。

（2）隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、制造、試驗(yàn)（包括工廠試驗(yàn)、出廠試驗(yàn)、交接試驗(yàn)）、供貨、包裝、運(yùn)輸、現(xiàn)場安裝、調(diào)試及試運(yùn)行，并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（3）構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

合同簽訂后 4 個(gè)月內(nèi)完成設(shè)備到貨，并在兩周內(nèi)完成設(shè)備的調(diào)試。

本項(xiàng) 目位于 陜西省西安長安航天基地東長安街589 號

300

2.3  主要配置及技術(shù)參數(shù)：

2.3.1  狹縫涂布設(shè)備技術(shù)參數(shù)

序號

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

1

適用基材

透明導(dǎo)電玻璃、硅片等基材

2

適用基材尺寸

玻璃≥400 mm × 400 mm，硅片≥166 mm × 166 mm

3

涂膜面積

玻璃有效涂膜面積≥380 × 380 mm，硅片需滿涂

4

固含量

5-75%

5

適用基材厚度

玻璃：1.1~3.5 mm

硅片：0.1~0.3 mm

6

涂布厚度

0.1-10 μm（干膜）

7

涂布速度

0-100 mm/s，速度可調(diào)，速度精度 0.1 mm/s

8

涂布方式

狹縫涂布

9

薄膜均勻性

片內(nèi)薄膜不均度≤5%（采用 9 點(diǎn)測試法，以上、下、左 、 右 、 中 心 9  點(diǎn) 為 測 量 基 準(zhǔn) ， 計(jì) 算 方 式 為Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin) ，U 為膜厚），片間薄膜不均勻   度   ≤   3%      （   計(jì)   算   方   式   為Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin) ，U 為膜厚），玻璃背面無污染。（設(shè)備連續(xù)工作 10 個(gè)工作日均滿足）

10

適用溶劑體系

水性、油性、有機(jī)溶劑等溶劑型涂料

11

設(shè)備配備雙龍門

每套龍門各配一套模頭、一套供液系統(tǒng)

12

涂硅片

設(shè)備可通過更換“吸附平臺(tái)、模頭”等組件的方式，切

換為涂覆硅片的設(shè)備。所需的吸附平臺(tái)及模頭由廠家配

齊

13

硅片取放

設(shè)備配備頂升裝置，便于取放硅片

14

預(yù)涂功能

設(shè)備配備預(yù)涂區(qū)域或預(yù)涂輥

15

平移系統(tǒng)

保證龍門或吸附平臺(tái)的平穩(wěn)移動(dòng)，調(diào)平后刀頭與平臺(tái)的

相對平行度＜20 μm

16

涂布模頭

采用流體仿真設(shè)計(jì)涂布模頭，刀頭直線度（R）≤3 μm，

粗糙度 Ra≤0.025；唇口直線度（R）≤3 μm，提供第三

方專業(yè)檢測報(bào)告

17

模頭數(shù)量配置

涂玻璃模頭配備 2 個(gè)，涂硅片模頭配備 1 個(gè)

18

涂布模頭材質(zhì)

不銹鋼合金，具有良好的耐腐蝕性能，可拆卸清洗，防

形變

19

模頭升降

模頭升降采用高精度伺服電機(jī)方式驅(qū)動(dòng)；可自動(dòng)調(diào)整唇

口與被涂基材的間隙。涂膜高度依基板厚度自動(dòng)調(diào)節(jié)，

可手動(dòng)設(shè)置補(bǔ)償功能。左右兩側(cè)可自動(dòng)調(diào)平（調(diào)節(jié)模頭

唇口與被涂基板的平行度），自動(dòng)調(diào)平后，狹縫模頭水

平校準(zhǔn)誤差精度≤±2 μm

20

墊片厚度

0.05/0.08/0.1 mm

21

功能模塊

涂布模頭具有防撞、快速充液和排泡功能（快速充液和

排泡功能滿足對供液泵、模頭及管路進(jìn)行充液和排泡。

從空模頭、空漿料罐狀態(tài)到可進(jìn)行涂膜狀態(tài)之間間隔不

得超過 10 min）

22

基臺(tái)及材質(zhì)

整機(jī)攜有大理石承重減震基底平臺(tái)

23

基材測距

每次涂膜前，可自動(dòng)檢測當(dāng)前基板高度（厚度），同一

片基板高度（厚度）檢測誤差≤3 μm

24

注液泵

注液泵應(yīng)能保證漿料擠出均勻連續(xù)，確保涂膜一致性，

其速度精度優(yōu)于 0.1 μl/s；供液速度在 1-500 μl/s，速度可

調(diào)；具備自動(dòng)補(bǔ)液、補(bǔ)液后自動(dòng)泄壓及回吸功能

25

自動(dòng)清洗模塊

設(shè)備具備自動(dòng)清洗模頭功能，自動(dòng)清洗后，必須保證無

藥液殘留，管路及型腔內(nèi)部無明顯液體凝聚現(xiàn)象；設(shè)置

模頭清洗區(qū)域，配備壓刀槽和排液槽，配合上述自動(dòng)清

洗功能和快速充液、排泡功能

26

吸附平臺(tái)

表面平整度≤±5 μm，平臺(tái)集成真空吸附系統(tǒng)，大小可

調(diào)

27

儲(chǔ)液罐及管路

需采用耐腐蝕材料，液體管路需使用半透明材質(zhì)

28

質(zhì)量保證

涂布過程中，需要通過程序?qū)崟r(shí)控制注液情況，以確保在涂布前端及涂布結(jié)束后，不能出現(xiàn)涂布頭滴液情況

29

防塵和尾廢

設(shè)備配備防塵罩及 FFU 過濾系統(tǒng)，內(nèi)部潔凈度保證在千級；配備三色燈及揮發(fā)溶劑排風(fēng)口；機(jī)臺(tái)具有防液體潑灑特性，避免漿料侵入設(shè)備內(nèi)部，損壞內(nèi)部關(guān)鍵元器件

30

模頭拆裝平臺(tái)

需設(shè)計(jì)模頭拆裝平臺(tái)，調(diào)平后的平臺(tái)平整度≤10 μm。此

外，需要配備專用刀頭分解和內(nèi)部清洗工裝及工具，確

定清洗頻次及方法

31

控制方式

高清觸摸屏控制，帶有配方存儲(chǔ)功能，可保存 20 組以上

成熟的工藝參數(shù)；可設(shè)置各系統(tǒng)功能的啟停、運(yùn)動(dòng)軸參

數(shù)；操作方便簡單

2.3.2 真空制晶設(shè)備技術(shù)參數(shù)

序號

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

1

適用基材

透明導(dǎo)電玻璃、硅片等基材

2

適用基材尺寸

玻璃≥400 mm × 400 mm，硅片≥166 mm × 166 mm

3

抽氣速率

大氣壓至 10pa：t ≤10s，抽真空速度可調(diào)；最低可抽至

0.8pa

4

破真空

破真空時(shí)間需控制在 3-10s

5

破真空使用氣體

氮?dú)饣蛘邏嚎s空氣

6

真空泵

進(jìn)口或同等級國產(chǎn)一流品牌干泵，真空泵開啟可在控制

臺(tái)操作

7

水冷機(jī)

設(shè)備自帶用于給真空泵冷卻的水冷機(jī)

8

真空計(jì)

雙真空計(jì)或雙量程真空計(jì)，用以檢測大氣壓至低壓，并

在低壓區(qū)域的量程保證一定精度

9

抽氣方式

上抽式設(shè)計(jì)，需配備勻流板，減弱膜面氣流擾動(dòng)

10

控制方式

高清觸摸屏控制（或顯示器+鍵盤+鼠標(biāo)）；可設(shè)置 VCD

的快慢抽時(shí)間、保壓時(shí)間等參數(shù)；工藝參數(shù)可分別編號

存儲(chǔ)和導(dǎo)出，具備工藝歷史記錄查看功能

11

安全裝置

防止過高真空造成設(shè)備損壞，設(shè)有自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)與安全

閥功能

12

功能配置

配有防倒吸，廢氣收集或過濾系統(tǒng)、破空過濾系統(tǒng)、壓力偵測系統(tǒng)；需額外預(yù)留一個(gè)真空泵接口

2.3.3 退火設(shè)備技術(shù)參數(shù)

序號

性能指標(biāo)名稱

要求參數(shù)值

1

適用基材

透明導(dǎo)電玻璃、硅片等基材

2

適用基材尺寸

≥400 mm × 400 mm，可向下兼容

3

加熱溫度范圍

室溫~250℃

4

加熱器件

設(shè)定 3 個(gè)基材工藝腔體，腔體溫度獨(dú)立控制，腔體單獨(dú)進(jìn)

料與出料，每個(gè)腔體上下兩個(gè)加熱器

5

升溫速率

升溫速率可調(diào)，≥25℃/min

6

溫度精度

±1℃

7

溫度均勻性

±3℃（采用 9 點(diǎn)測試法，將 9 個(gè)熱電偶貼在基材上，以

上、下、左、右、中心 9 點(diǎn)為測量基準(zhǔn)，進(jìn)行溫度均勻性

測試）

8

尾氣

工藝過程中能有效均勻排出揮發(fā)的有機(jī)廢氣，排氣速率可

調(diào)

9

保護(hù)氣體

設(shè)備可接入氮?dú)獗Ｗo(hù)氣體，配有預(yù)熱腔，確保保護(hù)氣體充

分預(yù)熱

10

隨機(jī)工具

附帶取放料工具，避免燙傷

4

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-1 1-26-029-04

招標(biāo)范圍

（1）主要設(shè)備：采購真空蒸鍍設(shè)備 1 套，主要包括基片裝置、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)等，同時(shí)包含設(shè)備所必須的安裝附件及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊），負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（2）備品備件：掩膜版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35 銅墊圈、匹配設(shè)備規(guī)格的密封圈等；

（3）專用工器具：拆卸、安裝、檢修設(shè)備時(shí)專用的工器具 1 套（包含外六方扳手、內(nèi)六方扳手、螺絲刀、扳手等工具）。

合同簽訂生效后90 日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具） （詳見第二卷第五章供貨要求）

本項(xiàng) 目位于 陜西省西安長安航天基地東長安街589 號

300

構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

2.3 主要配置及技術(shù)參數(shù)

2.3.1 真空蒸鍍設(shè)備主要配置

序號

性能指標(biāo)名稱

技術(shù)要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結(jié)構(gòu)

真空室采用 304 不銹鋼，腔體內(nèi)壁電解拋光處理，減少表  放  ；須保留前后門，便于對腔體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)

1.1.2

觀察窗

由保護(hù)玻璃、硬質(zhì)玻璃組合而成，需符合 X射線防護(hù)國家標(biāo)準(zhǔn)

1.1.3

腔體漏率

漏率優(yōu)于 5.0×10-10 Pa.m3/S，保壓 12 小時(shí)后，壓強(qiáng)≤5Pa  。

1.2

蒸鍍真空系統(tǒng)

1.2.1

極限真空度

系統(tǒng)潔凈、空置時(shí)優(yōu)于 5×10-5 pa

1.2.2

分子泵

抽氣速率不小于 3000 L/s

1.2.3

機(jī)械泵

抽氣速率不小于 25 m3/h

1.2.4

真空測量時(shí)間

大氣環(huán)境萬級潔凈間氛圍下從常壓抽至≤5×10-4 pa 時(shí)間≤30 min；

1.2.4

極限真空測量

測量范圍從 1×105Pa 到 5.0×10-5 Pa

1.2.4

真空密封

采用金屬密封和氟橡膠圈密封

1.3

蒸發(fā)室基片裝置

1.3.1

基片材料

導(dǎo)電玻璃

1.3.2

樣品尺寸

400 mm×400 mm 的樣品且可向下兼容更多尺寸

1.3.3

基片托盤

通過電機(jī)旋轉(zhuǎn) 0~30 rpm 可調(diào)

1.4

蒸發(fā)源和蒸發(fā)電源

1.4.1

蒸發(fā)源

配備 2 組金屬蒸發(fā)源和 4 組有機(jī)蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬、有機(jī)及無機(jī)材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板

1.4.2

金屬蒸發(fā)電源

配備可編程的直流穩(wěn)壓金屬蒸發(fā)電源 1 套，金屬蒸發(fā)電源功率≥1.5 KW 及以上，最高升溫溫度可達(dá) 1500 ℃ , 且通過電流控制方式，精確到 0.1 A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率 0.01 Å/s 的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制

1.4.3

有機(jī)蒸發(fā)電源

配備有機(jī)蒸發(fā)電源 1 套；可通過電流或 PID智能溫控方式進(jìn)行控制（采用電流控制方式 時(shí) 需精確 到 0.1A ， 并 實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01Å/s 的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用 PID智能溫控方式時(shí)控溫精度±1℃);

1.4.4

控制系統(tǒng)

采用 PLC+PC 控制方式

1.4.5

安全保護(hù)措施

缺水欠壓檢測與保護(hù)、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設(shè)計(jì)及保護(hù)。

1.5

膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

1.5.1

膜厚儀

不少于 1 組膜厚儀，不少于 2 套膜厚檢測探頭

1.5.2

蒸發(fā)速率

測量精度

0.1~0.5A/s (≤±10%) ，0.6~10.0A/s (≤±5%)

1.5.3

膜厚儀測量精度

膜厚儀測量精度優(yōu)于±0.01Å/s，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜且擋板關(guān)閉

1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT ~ 700℃)

1.5.5

厚度測量精度

優(yōu)于±1Å；具備與電源聯(lián)鎖功能

1.5.6

片內(nèi)膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸 400 mm×400 mm，且在20 nm ~ 100 nm 范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不 限于金 、銀 、銅 、鋁 、C60 、BCP 、 LiF2、MgF2 等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi) 3×3 排列 9 點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-  膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%

1.5.7

片間膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸 400 mm×400 mm，且在20 nm ~ 100 nm 范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不 限于金 、銀 、銅 、鋁 、C60 、BCP 、 LiF2、MgF2 等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi) 3×3 排列 9 點(diǎn)測量：不均勻性=（膜厚最大值-  膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。

1.6

自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)

開啟后根據(jù)用戶設(shè)置的升降溫和蒸發(fā)速率參數(shù)， 自動(dòng)升溫加熱蒸發(fā)材料，按照制定速率蒸鍍，到達(dá)設(shè)定厚度后自動(dòng)關(guān)閉擋板，并降溫

1.7

水冷系統(tǒng)

1.7.1

冷水機(jī)

控溫范圍：5℃ ~ 30℃

1.8

工藝支持

投標(biāo)人提供 C60 和 BCP 作為鈣鈦礦器件電子傳輸層的蒸鍍工藝，保證招標(biāo)方在其他薄膜層制備條件不變時(shí)采用該工藝制備電子傳輸層的鈣鈦礦太陽能電池性能不低于招標(biāo)方使用旋涂法制備 PCBM 和 BCP作為電子傳輸層的性能。

注：其他未列入本表的參數(shù)應(yīng)能滿足設(shè)備整體工藝安全運(yùn)行性能，并符合設(shè)備配置參數(shù)及國家標(biāo)準(zhǔn)

序號

標(biāo)段名稱

資格要求及業(yè)績要求

1

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目磁控濺射設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-11-26-029-01

投標(biāo)人資格要求

投標(biāo)人基本資格要求

（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；

（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),  沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；

（3）財(cái)務(wù)狀況及資信

近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近 36 個(gè)月內(nèi)(含， 自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

（6）投標(biāo)人沒有處于相關(guān)文件確認(rèn)的禁止投標(biāo)的范圍和處罰期內(nèi)；未被列入供應(yīng)商涉案“黑名單”。

專用資格條件資質(zhì)要求

投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的磁控濺射設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供磁控濺射設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號）只能有一家投標(biāo)人，如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求

投標(biāo)人應(yīng)具有近 3 年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少 3 臺(tái)及以上磁控濺射設(shè)備供貨合同業(yè)績，其中至少有 1 臺(tái)有效加工幅面不小于 1.2m*0.6m 供貨業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

2

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目激光設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-11-26-029-02

投標(biāo)人資格要求

投標(biāo)人基本資格要求

（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；

（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),  沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；

（3）財(cái)務(wù)狀況及資信

近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近 36 個(gè)月內(nèi)(含， 自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

（6）投標(biāo)人沒有處于相關(guān)文件確認(rèn)的禁止投標(biāo)的范圍和處罰期內(nèi)；未被列入供應(yīng)商涉案“黑名單”。

專用資格條件資質(zhì)要求

投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的激光設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)須提供激光設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求

投標(biāo)人應(yīng)具有近 3 年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少 3 臺(tái)同型號或相近技術(shù)規(guī)格的雙路或量產(chǎn)型激光劃線清邊設(shè)備加工幅面不小于 1.2m*0.6m 的鈣鈦礦產(chǎn)線設(shè)備供貨合同業(yè)績。【需提供合同復(fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

3

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目狹縫涂布及附屬設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-11-26-029-03

投標(biāo)人基本資格要求

（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；

（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn)，沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；

（3）財(cái)務(wù)狀況及資信

近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近 36 個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

（6）投標(biāo)人沒有處于相關(guān)文件確認(rèn)的禁止投標(biāo)的范圍和處罰期內(nèi)；未被列入供應(yīng)商涉案“黑名單”。

專用資格條件

資質(zhì)要求：投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的狹縫涂布設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供狹縫涂布設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求：投標(biāo)人應(yīng)具有近 3 年內(nèi)（自投標(biāo)截止日往前推算，已竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少 3 臺(tái)及以上，加工

幅面≥300 mm×300 mm 的狹縫涂布設(shè)備在鈣鈦礦電池制備領(lǐng)域供貨業(yè)績，同時(shí)至少有 1 臺(tái)有效涂布幅面不小于 1.2 m×0.6 m 的供貨業(yè)績。【需提供合同復(fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】。

4

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍設(shè)備采購項(xiàng)目

2025-11-26-029-04

投標(biāo)人資格要求

投標(biāo)人基本資格要求

（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；

（2）投標(biāo)人經(jīng)營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn), 沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；

（3）財(cái)務(wù)狀況及資信

近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近 36 個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

（6）投標(biāo)人沒有處于相關(guān)文件確認(rèn)的禁止投標(biāo)的范圍和處罰期內(nèi)；未被列入供應(yīng)商涉案“黑名單”。

專用資格條件資質(zhì)要求

投標(biāo)人必須是在中華人民共和國市場監(jiān)管部門注冊的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的真空蒸鍍設(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供真空蒸鍍設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對同一品牌、同一型號的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績要求

投標(biāo)人應(yīng)具有近 3 年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少 3 臺(tái)及以上同類型和功能的有效加工幅面不小于 30mm*30mm 蒸鍍設(shè)備供貨業(yè)績?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁） 、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】