感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)-招標公告

感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)項目已具備招標條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0779-21400316A008

1.3 設備組成與技術(shù)性能：

1.3.1 設備組成

設備主要由以下幾部分組成：反應腔、下電極、上電極（ICP源）、射頻源、真空系統(tǒng)、預真空室、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。

1.3.2 技術(shù)性能

1.3.2.1 反應腔

（1）上、下電極之間的距離可電動調(diào)節(jié)、以優(yōu)化工藝；

（2）反應腔采用雙層進氣，配置單獨的SiH₄進氣環(huán)。

1.3.2.2下電極

樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換，無需開腔、無需破真空。

1.3.2.3上電極（ICP源）

采用平板式天線。等離子體密度可到1E12 cm^-3。

1.4 數(shù)量：1臺（套）。

1.5 交貨期：合同簽訂后6個月內(nèi)交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2 本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書。

2.3 本次招標要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今訂不少于2臺（套）感應耦合等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)供貨合同，提供合同復印件作為證明。

2.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。

2.5投標人必須向招標代理機構(gòu)

3. 招標文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)自行下載招標文件。

3.3 投標人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)相關說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2021年03月30日09時30分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)（ /rest/index）并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件。

4.2 紙質(zhì)版投標文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

5

備注：非正式會員請聯(lián)系辦理會員入網(wǎng)注冊事宜，并繳費成為正式會員后登錄網(wǎng)站會員區(qū)可查看招標公告、招名方式或下載報名表格等詳細內(nèi)容！為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準。

咨詢聯(lián)系人：李工
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285
郵箱：[email protected]
來源：中國電力招標采購網(wǎng)?編輯：365trade.co