等離子體增強化學氣相沉積設備項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（招標代理機構）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：等離子體增強化學氣相沉積設備
1.2 招標編號：0779-26400341A009
1.3 項目概況
設備通過感應耦合等離子體方式（ICP）產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。
設備主要指標：
（1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空；
（2）反應腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；
（3）溫度控制：采用背氦傳熱的動態(tài)溫度控制系統(tǒng)，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內到達用戶現(xiàn)場。
1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標人所投標設備2023年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設備銷售業(yè)績證明（提供有效合同首頁，技術協(xié)議及驗收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）
2.4本項目不接受聯(lián)合體投標。
2.5投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格。
3. 招標文件獲取
3.1凡有意參加投標者，請于2026年1月19日至2026年1月27日17時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務熱線400-890-0880。
3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關說明）。
4. 投標文件的遞交
4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2026年2月9日9時00分（北京時間），投標人應在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質版投標文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。
4.2逾期送達的投標文件，中航工業(yè)電子采購平臺將予以拒收。
4.3投標人未按要求上傳加密電子版投標文件，或平臺軟件無法獲取、解密投標人上傳的電子版投標文件，招標人不予受理。
5. 開標
開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標公告同時在航空工業(yè)電子采購平臺、中國國際招標網(wǎng)和中國招標投標公共服務平臺上發(fā)布。
7.監(jiān)督部門：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所紀檢部/審計法律部
8.聯(lián)系方式（含異議受理）
招標人名稱：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標代理機構名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
售賣聯(lián)系人：郗女士
電話： 029-89249895
項目負責人：王瑋
電話：029-89248691、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：[email protected]
2026年1月19日
