投標(biāo)邀請
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司（招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
1.2 招標(biāo)編號：0779-26400341A009
1.3 項(xiàng)目概況
設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體方式（ICP）產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。
設(shè)備主要指標(biāo)：
（1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空；
（2）反應(yīng)腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；
（3）溫度控制：采用背氦傳熱的動態(tài)溫度控制系統(tǒng)，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。
更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內(nèi)到達(dá)用戶現(xiàn)場。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標(biāo)人所投標(biāo)設(shè)備2023年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設(shè)備銷售業(yè)績證明（提供有效合同首頁，技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）
2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2026年1月19日至2026年1月27日17時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。
4. 投標(biāo)文件的遞交
4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2026年2月9日9時00分（北京時間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。
4.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，中航工業(yè)電子采購平臺將予以拒收。
4.3投標(biāo)人未按要求上傳加密電子版投標(biāo)文件，或平臺軟件無法獲取、解密投標(biāo)人上傳的電子版投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。
5. 開標(biāo)
開標(biāo)時間同投標(biāo)文件遞交的截止時間，開標(biāo)地點(diǎn)同投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時在航空工業(yè)電子采購平臺、中國國際招標(biāo)網(wǎng)和中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺上發(fā)布。
7.監(jiān)督部門：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所紀(jì)檢部/審計(jì)法律部
8.聯(lián)系方式（含異議受理）
招標(biāo)人名稱：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
售賣聯(lián)系人：郗女士
電話： 029-89249895
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋
電話：029-89248691、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：[email protected]
2026年1月19日
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