全自動硅硅鍵合機項目公告

全自動硅硅鍵合機項目已具備招標條件，招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司（招標代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：全自動硅硅鍵合機

1.2 招標編號：0779-26400341A003

1.3項目概況：

全自動硅硅鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在室溫下依次對晶圓片進行等離子體表面活化和水洗甩干，經(jīng)過親水性處理的晶圓表面會形成足夠多的羥基，吸附水分子，當(dāng)兩個晶圓距離足夠接近時，會在羥基、水分子間的范德華力作用下相互接觸并預(yù)鍵合到一起，再進行退火處理，使界面發(fā)生羥基聚合反應(yīng)形成Si-O-Si鍵，增強鍵合強度；更多指標詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：

適用于6英寸晶圓，并可擴展至8英寸；

多模塊多腔室組合，包括等離子活化、水清洗、光學(xué)對準、鍵合等處理模式；

Mark鍵合對準精度：≤±2μm；

更多技術(shù)指標詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內(nèi)交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應(yīng)招標的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構(gòu)購買招標文件并進行登記才具有投標資格。

3. 招標文件獲取

3.1凡有意參加投標者，請于2026年1月15日至2026年1月22日17時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。

3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應(yīng)通過本鏈接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構(gòu))確認后，才能獲得招標文件的下載權(quán)限。

3.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2026年2月5日9時00分（北京時間），投標人應(yīng)在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。

4.2逾期送達的投標文件，中航工業(yè)電子采購平臺將予以拒收。

4.3投標人未按要求上傳加密電子版投標文件，或平臺軟件無法獲取、解密投標人上傳的電子版投標文件，招標人不予受理。

5. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標公告同時在中航工業(yè)電子采購平臺、中國國際招標網(wǎng)、中國招標投標公共服務(wù)平臺和中招聯(lián)合招標采購平臺上發(fā)布。

7. 監(jiān)督部門

本招標項目的監(jiān)督部門為中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所紀檢部/審計法律部

8. 聯(lián)系方式（含異議受理）

招標人名稱：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所

地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號

聯(lián)系人：任經(jīng)理

電話：029-61886363

招標代理機構(gòu)名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司

地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓

郵編： 100039

聯(lián)系人：郗女士

電話： 029-89249895

項目負責(zé)人：王瑋

電話：029-89249161、029-89248368

傳真：010-88529153

電子郵件：[email protected]

2026年1月15日