Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-25400341A061
1.3 項(xiàng)目概況：
設(shè)備基本組成：
Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)用于實(shí)現(xiàn)量子傳感、硅光、MEMS等芯片的異質(zhì)集成，實(shí)現(xiàn)芯片和Wafer混合鍵合。設(shè)備包括Wafer（晶圓）和Die（芯片）的獨(dú)立上料和傳輸、等離子活化模塊、Wafer 清洗模塊、Tape Frame 清洗模塊、Aligner 規(guī)正模塊、Wafer 翻轉(zhuǎn)模塊、C2W對(duì)準(zhǔn)模塊、鍵合模塊、檢測模塊及相應(yīng)的自動(dòng)傳輸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)，各模塊之間自動(dòng)傳輸物料。
該設(shè)備在室溫下自動(dòng)將晶圓片和芯片的鍵合面進(jìn)行清洗和等離子體表面活化，在經(jīng)過高精度（亞微米）對(duì)準(zhǔn)之后貼在一起，在大氣或低真空環(huán)境下經(jīng)過數(shù)小時(shí)的退火處理，形成介質(zhì)層的Si-O-Si 鍵和導(dǎo)電層的Cu-Cu 擴(kuò)散連接，完成高精度混合鍵合，并實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)偏差檢測。
設(shè)備主要指標(biāo)：
（1） 可實(shí)現(xiàn)芯片到晶圓的混合鍵合；
（2） 對(duì)準(zhǔn)精度:≤200nm；貼片精度:≤500nm；
（3） 支持芯片大小范圍:1mm~32mm。
更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺(tái)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺(tái)相關(guān)說明）。
4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.aaok.cn）上注冊會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在 招標(biāo)會(huì)員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機(jī)：18811547188
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
備注：欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，
招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。
編輯：ebid.eavic
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