招標(biāo)公告

1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS） 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20240429A022

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：該設(shè)備為國產(chǎn)全新8寸SIH4+TEOS混源的介質(zhì)淀積設(shè)備，自帶SMIF（或同類裝置），RFID及EAP通訊功能，配置三個(gè)PECVD TWIN Chamber（2個(gè)SIH4腔，1個(gè)TEOS腔，所有腔室均配置LH+HF組件），擁有PEOX工藝、SRO工藝、SIN工藝、SRN工藝、SION工藝、FSG工藝和USG工藝等功能，每個(gè)Chamber擁有In-situ N2 plasma處理功能。

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后150天。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2業(yè)績要求：投標(biāo)人提供本次投標(biāo)同型號或同系列的設(shè)備從2020年至今的任意一年的銷售業(yè)績，且一年中累計(jì)銷售量至少10臺；須提供設(shè)備采購合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁（合同供貨方可以是本次投標(biāo)人也可以是本次所投設(shè)備制造商）、合同簽訂時(shí)間、合同標(biāo)的物及其型號。

3.3 其它要求：本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。投標(biāo)人若為代理商，則須提供所投產(chǎn)品制造商的授權(quán)書。

3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

4.
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編輯：dljcz