1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項目in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng) 該項目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250341A075
2.2 招標(biāo)項目名稱：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)主要應(yīng)用于量子傳感、硅光等芯片的微納結(jié)構(gòu)制造過程中的光刻工藝，通過和深紫外光刻機在線聯(lián)機，完成光刻膠旋涂合烘烤后，將晶圓直接傳送到光刻機進(jìn)行曝光，再傳送回該系統(tǒng)完成顯影，達(dá)到最終將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印至光刻膠上的目的。
系統(tǒng)組成：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)主要由上下料單元、傳輸單元和涂膠顯影單元等組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂后6個月內(nèi)到貨。
3. 投標(biāo)人資格要求：
3.1 投標(biāo)人須具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。一個制造商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個代理商參加投標(biāo)。提供制造商針對本項目（帶本項目招標(biāo)編號）的授權(quán)書（原件）。
3.4 財務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會計師事務(wù)所或?qū)徲嫏C構(gòu)審計的財務(wù)會計報表，包括審計報告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財務(wù)報表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計的或單位內(nèi)審的2024年財務(wù)報表。
3.5 業(yè)績要求：投標(biāo)廠商2022年至今有交付的in-line涂膠顯影類設(shè)備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復(fù)印件、合同復(fù)印件對應(yīng)的發(fā)票復(fù)印件或驗收報告或收款證明等項文件；
3.6 信譽要求：投標(biāo)人在經(jīng)營活動中，無嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結(jié)果）或信譽承諾書。
3.7 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)
